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JGP450超高真空濺射與蒸發(fā)系統(tǒng)出租

JGP450超高真空濺射與蒸發(fā)系統(tǒng)出租

名稱:儀器租賃

品牌:

型號:

簡介:儀器中文名稱: 超高真空濺射與蒸發(fā) 儀器型號規(guī)格: JGP450 生產(chǎn)廠商: 中國沈陽科學(xué)儀器中心有限公司 國別: 中國 購置日期(年): 2008-3-1 使用日期(年): 2008-9-1 主要技術(shù)指標(biāo): ① 檢測抽速:主濺室40分鐘真...

  • 產(chǎn)品介紹


儀器中文名稱: 超高真空濺射與蒸發(fā)
儀器型號規(guī)格: JGP450
生產(chǎn)廠商: 中國沈陽科學(xué)儀器中心有限公司 
國別: 中國
購置日期(年): 2008-3-1
使用日期(年): 2008-9-1
主要技術(shù)指標(biāo): ① 檢測抽速:主濺室40分鐘真空度達到6.6×10-4帕;進樣室40分鐘真空度達到6.6×10-3帕;蒸發(fā)室:40分鐘真空度達到6.6×10-4帕; ② 檢測氣路:二路進氣,分MFC質(zhì)量流量計控制進氣,手動進氣,備有混氣室。MFC控制范圍:0~100SCCM、0~50SCCM。 ③ 檢測鍍膜:主濺射室磁控靶輝光放電,在指定樣品鍍膜,計算機控制鍍膜時間;蒸發(fā)室:蒸發(fā)源可以蒸發(fā)材料,在指定樣品鍍膜。 ④ 檢測加熱系統(tǒng):濺射室/蒸發(fā)室,室溫~600℃,程序控溫;進樣室退火:退火溫度,最高700℃(三室共用一套加熱控溫系統(tǒng))。 ⑤ 檢測極限真空:主濺射室6.6×10-5帕;進樣室6.6×10-4帕;蒸發(fā)室8.0×10-5帕。 ⑥ 檢測真空漏率:主濺射室/蒸發(fā)室,停機關(guān)泵12小時后真空≤5帕;進樣室停機關(guān)泵12小時后真空≤10帕。 
主要附件及功能: 
本單位該儀器主要應(yīng)用領(lǐng)域:材料, 地質(zhì)礦產(chǎn), 機械工程
檢測項目: 單一鍍膜、復(fù)合鍍膜、多層鍍膜 
收費標(biāo)準(zhǔn): 面議 
 

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